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一种集成的偏振旋转调制器件及其制备方法

摘要

一种集成的偏振旋转调制器件及其制备方法,偏振旋转调制器件包括:偏振旋转部分与调制部分;其中,偏振旋转部分用于将入射光分解在两个相互垂直的方向,两个相互垂直的方向的折射率不同,以使入射光的偏振方向产生旋转,偏振旋转部分与调制部分的晶向不同,偏振旋转部分与调制部分均具有波导结构,在偏振旋转部分与调制部分相结合的端面,偏振旋转部分与调制部分的波导结构实现端面耦合。本发明提供的偏振旋转调制器件无需刻蚀复杂的渐变结构,可以降低制备难度和结构的复杂度,并且能够同时适用于脊波导和体波导。

著录项

  • 公开/公告号CN112612079A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN202011509314.6

  • 申请日2020-12-18

  • 分类号G02B6/126(20060101);G02F1/035(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王江选

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2023-06-19 10:30:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-10-27

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 6/126 专利申请号:2020115093146 申请公布日:20210406

    发明专利申请公布后的驳回

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