一种基于砷化镓材料的激光电池制备方法及电池

摘要

本发明公开了一种基于砷化镓材料的激光电池制备方法及电池，属于太阳能电池技术领域，至少包括：S1、采用金属有机化学气相沉积技术在砷化镓衬底上面沉积Ga1‑xInxAs缓冲层；S2、在Ga1‑xInxAs缓冲层上沉积第一子电池；S3、在第一子电池上沉积第一隧穿结；S4、在第一隧穿结上沉积第二子电池；S5、在第二子电池上沉积第二隧穿结；S6、在第二隧穿结上沉积第三子电池；S7、在第三子电池上沉积cap层；S8、器件工序，依次包括：光刻、蒸镀电极、电极加固、蒸镀减反射膜、二次套刻、腐蚀划片。本发明得到的晶体质量好，光电转换效率高，稳定性强，易于制作，并可在作为完整的电池直接使用。