薄膜腔声谐振器的Mason模型

摘要

本发明适用于谐振器技术领域，提供了一种薄膜腔声谐振器的Mason模型，包括：在建立的薄膜腔声谐振器的原Mason模型中增加串联电阻Rs和并联电阻Rp，使得可以通过改变并联电阻Rp单独调节薄膜腔声谐振器的Mason模型中并联谐振频率处的品质因数Qp，通过改变串联电阻Rs单独调节薄膜腔声谐振器的Mason模型中串联谐振频率处的品质因数Qs，从而解决现有技术中无法单独调节Qs和Qp的大小导致谐振器模型与实际测试结果的拟合以及后续薄膜腔声谐振器滤波器的设计造成困难的问题。