波长选择性响应的光电探测器的制备方法

摘要

本发明属于光电器件领域，公开了波长选择性响应光电探测器的制备方法，在透明基底上依次设置纳米孔图案化金属薄膜层、光敏半导体材料层、致密金属薄膜层、绝缘保护层、以及分别在纳米孔图案化金属薄膜层和致密金属薄膜层引出两个引线端；纳米孔图案化金属薄膜层与致密金属薄膜层形成法布里‑珀罗谐振腔。由于纳米孔为对称的阵列结构，使其对入射光子的偏振角度具有不显著的依赖特性，进而使得光电探测器可实现偏振不敏感的波长选择性响应，法布里‑珀罗谐振腔使得目标光子在光敏半导体材料层中光学共振，增强了光敏半导体材料层对目标光子的吸收率。