首页> 中国专利> 一种表面等离激元驻波的激发装置

一种表面等离激元驻波的激发装置

摘要

本发明提供了一种表面等离激元驻波的激发装置,该激发装置,以高数值孔径物镜中平行光束产生传输表面等离激元的方式为基础,通过所述相干光调节单元对两束相干光的调节,以使两束相干光对同一区域的金属膜以同角度、不同方向入射光激发相干传输表面等离激元。其与传统的激发方式相比较,该表面等离激元驻波激发装置具有分布范围大、成本低和易控制等优势,在应用方面有明显优势。

著录项

  • 公开/公告号CN112557352A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201910916516.3

  • 申请日2019-09-26

  • 分类号G01N21/63(20060101);G01N21/01(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人纪志超

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中国科学院微电子研究所

  • 入库时间 2023-06-19 10:24:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-16

    授权

    发明专利权授予

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号