弛豫型压电陶瓷功能梯度弯曲驱动器的制备方法

摘要

本发明公开了一种弛豫型压电陶瓷功能梯度弯曲驱动器，同时公开了制备该驱动器的方法。本发明的弛豫型压电陶瓷功能梯度弯曲驱动器由至少五层压电陶瓷薄片组成，材料中间部分的组成和结构呈连续的梯度变化，而在内部不存在明显的界面，与传统的压电单、双晶片相比，具有更高的疲劳寿命，在纳米技术、精密测量、精细加工、微电子、机器人等领域具有广泛的应用前景。本发明的弛豫型压电陶瓷功能梯度弯曲驱动器的制备方法，利用流延成型法制备功能梯度压电陶瓷，使各层压电陶瓷材料呈连续的梯度变化，使用常用的流延成型机即可实现该方法，制备过程简单。