公开/公告号CN112563105A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)股份有限公司;
申请/专利号CN201911411272.X
申请日2019-12-31
分类号H01J37/244(20060101);H01J37/32(20060101);G01F1/00(20060101);G01F1/34(20060101);G01K13/00(20210101);G01L9/12(20060101);
代理机构31323 上海元好知识产权代理有限公司;
代理人包姝晴;张静洁
地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
入库时间 2023-06-19 10:24:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-11-03
授权
发明专利权授予
机译: 将过程气体流量设置为细长磁控管的方法,包括确定每个部分过程气体流量在每个等离子区段中的等离子体化学计量,以及设置每个子过程气体流量的过程气体部分流量
机译: 等离子体处理装置的性能验证系统和等离子体处理装置
机译: 控制等离子体处理装置的腔室中的材料的温度的方法,腔室和基质中的材料的安装阶段以及配备有该等离子体处理设备的等离子体处理装置的方法