一种激光原位辅助加热的纳米压痕仪器及其使用方法

摘要

本发明公开了一种激光原位辅助加热的纳米压痕仪器及其使用方法，属于难加工材料的精密与超精密加工技术领域，包括底座、激光器、载物台和安装在底座两侧的立柱，载物台固定安装在所述底座上，激光器包括激光器输出组件，激光器输出组件通过水平设置横梁安装在立柱上并可沿横梁长度方向水平移动，激光器出光口位于激光器输出组件上正对载物台位置处，激光器出光口与载物台之间设置有金刚石探针。本发明的有益效果是：根据不同材料对激光吸收率的差异，选择合适的激光波长，然后将激光透过金刚石探针作用在试样的表面，试样接收激光能量使表面温度升高从而达成对试样进行加热，且仅加热金刚石探针与试样接触的部位，不影响测试区域以外的材料。