一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构

摘要

本发明公开了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，同时步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，涡轮能够带动旋转台旋转，这样就能够实现样品托的待观察样品随直线运动的同时也随旋转台一起旋转。总之，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构结构设计科学合理可靠，能实现两轴联动，能快速可靠定位样品台上的样品，换样方便快捷，能做到结构紧凑、体积小、装配方便，可应用于场发射等超高真空环境下。

说明书

技术领域

本发明涉及到扫描电镜技术领域，特别涉及一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构。

背景技术

随着科技的发展需求，扫描电镜在各科研、企事业单位被广泛应用。扫描电子显微镜是利用阴极与阳极之间的高压产生高速电子，经过几级聚焦形成极细的电子束，在试样表面逐点扫描激发试样表面的各种信号，最后通过不同传感器收集成像。为了减少换样抽真空的耗时，增加检测的效率，电镜一次测试能装几种甚至十几种不同的样品，故而需要在狭小的真空腔体内进行不同轴的传动，将样品台上的不同样品托上的样品移动到电子束下进行观测。

原有真空平台的结构复杂，既难加工也难装配调试，而且真空平台结构不紧凑导致真空腔体积过大，增加抽真空时间和成本。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，以解决原有结构体积较大，使用过程中成本高的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，包括基座平台、导轨、步进电机和真空电机，所述基座平台的一端通过电机固定座固定有步进电机，所述基座平台的另一端通过电机固定座固定有真空电机，所述基座平台上固定有两条相互平行的导轨，所述导轨上设有滑块，所述滑块上固定有直线运动平台，所述直线运动平台的中部设有涡轮，所述涡轮上固定有旋转台，所述真空电机通过连轴节连接有螺杆，所述螺杆从直线运动平台内穿过，所述真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，所述步进电机通过连轴节连接有旋转台驱动轴，所述旋转台驱动轴从蜗杆内穿过，所述蜗杆通过蜗杆放置座设置在直线运动平台上，所述步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，所述涡轮能够带动旋转台旋转，所述旋转台上设有多个样品托。

优选的所述基座平台上固定有螺杆限位块，所述螺杆从螺杆限位块内穿过。

优选的所述基座平台的两端对应直线运动平台分别固定有直线运动平台行程开关。

优选的所述旋转台上通过设有多个样品托。

优选的所述旋转台上通过玻珠顶丝可拆卸设置有多个样品托。

优选的所述直线运动平台上对应旋转台固定有旋转台行程开关。

优选的所述直线运动平台上对应涡轮设有阻尼块。

优选的所述螺杆限位块顶端设有限位导向槽，所述旋转台驱动轴端头放置在限位导向槽内。

本发明涉及的一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，同时步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，涡轮能够带动旋转台旋转，这样就能够实现样品托的待观察样品随直线运动的同时也随旋转台一起旋转；基座平台的两端对应直线运动平台分别固定有直线运动平台行程开关，直线运动平台行程开关能够对直线运动平台的位移进行准确限定；旋转台上通过玻珠顶丝可拆卸设置有多个样品托，样品托的可拆卸设计，方便了样品的快速更换放置；直线运动平台上对应旋转台固定有旋转台行程开关，旋转台行程开关用来检测旋转台的起始点和旋转角度；直线运动平台上对应涡轮设有阻尼块，阻尼块可以用来调节旋转台的旋转速度。总之，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构结构设计科学合理可靠，能实现两轴联动，能快速可靠定位样品台上的样品，换样方便快捷，能做到结构紧凑、体积小、装配方便，可应用于场发射等超高真空环境下。

附图说明

图1为本发明一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构的整体结构示意图一；

图2为本发明一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构的整体结构示意图二；

图3为本发明一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构的俯视图；

图4为本发明一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构的主视图；

图中：1、基座平台；2、导轨；3、滑块；4、步进电机；5、电机固定座；6、连轴节；7、螺杆；8、螺杆限位块；9、直线运动平台；10、真空电机；11、旋转台驱动轴；12、蜗杆；13、涡轮；14、限位导向槽；15、旋转台；16、阻尼块；17、样品托；18、直线运动平台行程开关；19、蜗杆放置座；20、旋转台行程开关；21、玻珠顶丝。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

如图1-4所示，一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，包括基座平台1、导轨2、步进电机4和真空电机10，所述基座平台1的一端通过电机固定座5固定有步进电机4，所述基座平台1的另一端通过电机固定座5固定有真空电机10，所述基座平台1上固定有两条相互平行的导轨2，所述导轨2上设有滑块3，所述滑块3上固定有直线运动平台9，所述直线运动平台9的中部设有涡轮13，所述涡轮13上固定有旋转台15，所述真空电机10通过连轴节6连接有螺杆7，所述螺杆7从直线运动平台9内穿过，所述真空电机10能够通过连轴节6和螺杆7带动直线运动平台9在滑块3的作用下沿导轨2滑动，所述步进电机4通过连轴节6连接有旋转台驱动轴11，所述旋转台驱动轴11从蜗杆12内穿过，所述蜗杆12通过蜗杆放置座19设置在直线运动平台9上，所述步进电机4能够通过连轴节6、旋转台驱动轴11和蜗杆12带动涡轮13旋转，所述涡轮13能够带动旋转台15旋转，所述旋转台15上设有多个样品托17，所述基座平台1上固定有螺杆限位块8，所述螺杆7从螺杆限位块8内穿过，所述基座平台1的两端对应直线运动平台9分别固定有直线运动平台行程开关18，所述旋转台15上通过设有多个样品托17，所述旋转台4上通过玻珠顶丝21可拆卸设置有多个样品托5，所述直线运动平台9上对应旋转台15固定有旋转台行程开关20，所述直线运动平台9上对应涡轮13设有阻尼块13，所述螺杆限位块8顶端设有限位导向槽14，所述旋转台驱动轴11端头放置在限位导向槽14内。

本发明涉及的一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机10能够通过连轴节6和螺杆7带动直线运动平台9在滑块3的作用下沿导轨2滑动，同时步进电机4能够通过连轴节6、旋转台驱动轴11和蜗杆12带动涡轮13旋转，涡轮13能够带动旋转台15旋转，这样就能够实现样品托17的待观察样品随直线运动的同时也随旋转台15一起旋转；基座平台1的两端对应直线运动平台9分别固定有直线运动平台行程开关18，直线运动平台行程开关18能够对直线运动平台9的位移进行准确限定；旋转台4上通过玻珠顶丝21可拆卸设置有多个样品托5，样品托5的可拆卸设计，方便了样品的快速更换放置；直线运动平台9上对应旋转台15固定有旋转台行程开关20，旋转台行程开关20用来检测旋转台15的起始点和旋转角度；直线运动平台9上对应涡轮13设有阻尼块13，阻尼块13可以用来调节旋转台15的旋转速度。总之，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构结构设计科学合理可靠，能实现两轴联动，能快速可靠定位样品台上的样品，换样方便快捷，能做到结构紧凑、体积小、装配方便，可应用于场发射等超高真空环境下。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二（一号、二号）等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。