公开/公告号CN112504048A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 东方电气集团东方锅炉股份有限公司;
申请/专利号CN202011189434.2
申请日2020-10-30
分类号G01B3/20(20060101);G01B3/56(20060101);G01B5/06(20060101);G01B5/08(20060101);G01B5/24(20060101);
代理机构51231 成都泰合道知识产权代理有限公司;
代理人王荣
地址 643001 四川省自贡市自流井区五星街黄桷坪路150号
入库时间 2023-06-19 10:16:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-13
授权
发明专利权授予
机译: 一种用于测量图案高度的装置和一种测量图案高度的方法,能够通过在试样表面上辐射电子束来测量图案的高度
机译: 测量高度校正规则生成器及其方法,高度测量装置及其方法
机译: 用于操作压制装置的方法,包括将粉末和颗粒压入带有模具的压机的模板中,其中在压制粉末和颗粒的过程中,测量模具在模板壁上的径向翘曲