测量高度校正规则生成装置及方法、高度测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种测量高度校正规则生成装置及方法、高度测量装置及方法。根据本发明的测量高度校正规则生成方法包括如下步骤：获取包含样品上的一个以上的位置的距基准面的高度的第一数据；生成包含基于第一位置的高度和基准高度之间的相对关系来确定的针对第一位置的高度的比例因子的第一掩码；生成包含基于第一位置的高度和与第一位置相邻的一个以上的第二位置的高度之间的相对关系来确定的针对第一位置的高度的第一校正规则的第二掩码；计算出第一位置的高度和与第一位置处于预设关系的第三位置的高度之比，并生成包含基于计算出的比率和平均比率之间的相对关系来确定的针对所述第一位置的高度的第二校正规则的第三掩码。