格子投影法を用いた高さ測定装置における計測精度予測手法の提案

摘要

そこで，本研究では偶然誤差であるカメラのランダムノイズの大きさと計測対象表面に投影した格子パターンから得られる位相分布に含まれるランダムノイズの大きさを用いることにより，高さ測定装置の計測精度を予測する手法を提案する．提案する計測精度の予測手法を用いることにより，光源切替位相シフト法と全空間テーブル化手法を組み合わせた技術を用いた形状計測装置において，設計段階における計測精度の予測が可能となる．計測装置の設計を偶然誤差であるカメラのランダムノイズ及び計測対象によるノイズの考慮のみで容易に行うことができる．計測精度の予測手法の検証実験を行い，本手法の有効性を示す．