微区域差分反射式光谱测量系统与方法

摘要

本发明涉及一种微区域光谱测量系统，包括光源模块、分束器、测量光路、参考光路、光谱接收模块，其中：光源模块，用于将复色光源产生的非偏振光束准直输出；分束器，用于将光源模块的输出平行光束分为测量光束和参考光束，分别进入测量光路和参考光路；测量光路，用于将测量光束汇聚至待测样品表面形成微小区域光斑构成临界照明，并使得经由待测样品反射的反射光束通过测量光路物镜返回，该光束经过分束器后进入光谱接收模块；光谱接收模块，用于进行待测样品和参考样品的反射光差分光谱的采集。本发明同时给出利用此种测量系统实现的微区域差分反射光谱的测量方法。