用于电子显微镜的导光组件

摘要

用于电子显微镜的导光组件。本公开描述了包括有效耦合在一起的电子柱极靴和导光组件的电子显微镜系统的实施例。该导光组件还包含一个或多个检测器，以及具有限压孔的反射镜，来自电子源的电子束穿过该限压孔。所述反射镜还被配置为可以反射光以及收集反向散射的电子和次级电子。