一种用于离子源的控温模块、控温系统及离子源装置

摘要

本发明涉及一种用于离子源的控温模块、控温系统及离子源装置。所述控温模块包括：一级冷却通道，用于对控温模块本体通过低温冷却气体降温；二级冷却通道，其穿过所述控温模块内部，用于流经二级冷却气体；控温模块本体，用于对离子源输送所述二级冷却气体。本发明采用的两级控温方案，使得二级冷区气体的入口处可为常温气体，与控温模块热交换时，即使在较高压力下，仍能保持很高的气流稳定性，从而可实现较高精度的控温稳定性。