一种在陶瓷背板上沉积金属氧化物薄膜的方法及设备

摘要

本发明公开了一种在陶瓷背板上沉积金属氧化物薄膜的方法，该方法包括以下步骤：1)对若干个陶瓷背板的表面进行一次清洗，烘干，再将清洗烘干后的若干个陶瓷背板间隔放置在反应腔室内；2)对上述清洗烘干后的若干个陶瓷背板进行射频等离子体清洗；3)采用溅射工艺在上述经清洗后的陶瓷背板上沉积一层附着力强的过渡层；4)采用原子层沉积工艺在上述中沉积有过渡层的陶瓷背板上沉积一层或多层均匀一致的金属氧化物绝缘薄膜。本发明通过采用原子层沉积和物理气相沉积相结合的技术，在陶瓷背板上沉积一层或多层均匀一致的金属氧化物绝缘薄膜，该薄膜与陶瓷基体的附着力强，耐磨、耐高温和耐腐蚀，陶瓷背板的抗弯强度一般可提高50％以上。