公开/公告号CN112484809A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 西门子医疗有限公司;
申请/专利号CN202010952427.7
发明设计人 奥利弗·霍伊尔曼;
申请日2020-09-11
分类号G01F23/26(20060101);G01N27/00(20060101);H01J35/10(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王逸君;张春水
地址 德国埃朗根
入库时间 2023-06-19 10:13:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01F23/26 专利申请号:2020109524277 申请日:20200911
实质审查的生效
机译: 位置测量方法,用于执行位置测量方法的位置测量设备,使用该位置测量方法的设备制造方法以及配备有该位置测量设备的曝光设备
机译: 用于密度测量设备的对象的测量方法,用于密度测量的设备以及用于密度测量的对象的测量方法
机译: 用于电极迁移率的无电极测量设备用于空穴迁移率的无电极测量设备用于电极迁移率的无电极测量方法和用于空穴迁移率的无电极测量方法