可测量水下横流的柔性压力传感器及其制作与测量方法

摘要

提供一种可测量水下横流的柔性压力传感器，其玻璃基片上设置有至少1片柔性压力传感芯片；柔性压力传感芯片由PDMS与导电石墨烯复合材料浇铸而成,石墨烯以导电纳米颗粒混合入PDMS中；柔性压力传感芯片的柔性基片上面设置由多片凸筋排列形成的凸筋陈列,每片凸筋呈不对称的形状；凸筋陈列的两侧分别设置有导电Ag工作电极块及其引出线；本发明利用柔性导电料受压变形会引起电阻值变化的原理；采用MEMS加工技术，用硅基片制成凸模具,利用凸模具浇筑成凹模具，石墨烯和PDMS混合物在凹模具中浇筑成型，后磁控溅射形成导电Ag工作电极块得到柔性压力传感芯片；使用前先进行标定，获得标定函数关系后，就可以在现场测量。