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一种平面反射镜光学薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种平面反射镜光学薄膜的制备方法,包括:镜面清理、镜面遮挡防护、镜面蒸镀处理,最终形成镜面中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层;具体流程是利用A1板遮挡及利用聚四氟乙烯挡片用高温胶与镜面粘结防护,利用乙醚及真空环境下离子束轰击清理,分区蒸镀形成中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层,通过对现有技术的改进,该方法具有镜面清理干净整洁、利于薄膜成型、镜面遮挡处理方便的优点,从而有效的解决了本发明在背景技术一项中提出的问题和不足。

著录项

  • 公开/公告号CN112458401A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州苏克新型材料有限公司;

    申请/专利号CN202011385273.4

  • 发明设计人 钱佳琪;陈小刚;

    申请日2020-12-02

  • 分类号C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);G02B5/08(20060101);

  • 代理机构32246 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张一鸣

  • 地址 215000 江苏省苏州市高新区通安镇真北路88号7号楼4楼

  • 入库时间 2023-06-19 10:10:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-17

    发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/04 专利申请号:2020113852734 申请公布日:20210309

    发明专利申请公布后的撤回

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