公开/公告号CN112458401A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州苏克新型材料有限公司;
申请/专利号CN202011385273.4
申请日2020-12-02
分类号C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);G02B5/08(20060101);
代理机构32246 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张一鸣
地址 215000 江苏省苏州市高新区通安镇真北路88号7号楼4楼
入库时间 2023-06-19 10:10:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-17
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/04 专利申请号:2020113852734 申请公布日:20210309
发明专利申请公布后的撤回
机译: 校准太阳辐射引导,聚焦,光学反射镜装置(如定日镜或反射镜)的平面对准的方法,包括安装距反射镜装置的反射面焦距较远的起始或终止平面
机译: 反射镜和调整反射镜平面上的光分布的方法,形成反射镜平面的方法以及照明装置
机译: 用于制造例如光刻胶的微光刻工具。半导体芯片,具有投射物镜,该投射物镜具有反射镜,该反射镜布置成将从位于目标平面的标线片反射的辐射引导至位于像平面的基板