平面反射镜光学薄膜的制备

摘要

以薄膜原理为基础,通过Essential Macleod软件进行膜系设计.采用电子束加热蒸发的镀膜方式,利用设计工装制备了介质ZrO2-SiO2高反射膜层和金属铝反射膜层.介质高反膜层在1.064 μm波长处的反射率达到95%,金属铝反射膜层的在3 μm～5 μm波段内的平均反射率超过95%.膜层的技术指标和环境适应性能具有优质的质量.