一种水下耐压光学窗口增透膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种水下耐压光学窗口增透膜的制备方法，包括以下步骤：(1)基片钢化：对待镀膜光学件进行化学钢化，通过表面层的离子交换过程，增强光学件的抗弯强度和抗冷热冲击能力；(2)镀膜前准备；(3)电子束蒸发镀制多层增透膜；(4)后处理：保持真空降温至100℃，放气取出零件，然后放入高温洁净有氧退火炉中退火处理。本发明制备的光学窗口不仅大幅提升了抗冷热温度冲击和静水压力能力，其光学膜层的微观缺陷也有效减少(可对比缺陷较多的膜层在较高静水压力下会呈现出满面明显的白色点状物，为膜层中微观缺陷在水压下坍塌破裂所致)，提升了光学窗口在(海)水下环境的适应性。