公开/公告号CN112425184A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 朝阳半导体技术江阴有限公司;
申请/专利号CN201980046346.6
发明设计人 哈桑·伊斯;
申请日2019-08-08
分类号H04R3/06(20060101);H04R19/04(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘锋
地址 214423 江苏省无锡市江阴市新桥镇阳光工业园区
入库时间 2023-06-19 10:00:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-20
授权
发明专利权授予
机译: 电容式微麦克风系统,即微机电系统麦克风,具有其中心部分由支撑部分支撑的膜,以便从支撑部分向外导出膜的残余应力。
机译: 用于电容式微机电系统麦克风的微机械压力传感器,具有形成可移动膜的后体积的基板侧腔,并位于专用集成电路芯片上
机译: 电容式微机电系统麦克风,麦克风单元和电子设备