一种用于分配微体积液体的装置

摘要

本发明涉及一种用于分配微体积液体的装置(1)。特别地，本发明缩短了将受控量的粘性液体(106)从至少一个喷嘴(104)分配到工件平台(100)上的工件(102)上的时间，并且感测在分配过程中的压力变化，从而获得所需的压力并控制所分配的粘性液体(106)的量。因此，本发明能够以高准确度、高速度和高精度分配少量的粘性液体(106)。