一种亚波长闪耀光栅结构的加工方法

摘要

一种亚波长闪耀光栅结构的加工方法，涉及一种工件表面加工方法。二维纳米压电定位台的两轴输入两路异相的正弦电压信号，同时对输出位移进行测量，标记相位差与旋转方向的关系；完成压印过程观察压头针尖三个切削刃的空间朝向并进行调节；让切削刃以顺铣的方式进行加工，加工出亚波长闪耀光栅结构；通过控制二维纳米压电定位台的输入信号，改变运动轨迹形状加工亚波长闪耀光栅结构；使压头针尖与加工工件表面的夹角改变形成新的空间位置，改变压头针尖倾斜角度加工亚波长闪耀光栅结构。利用三棱锥金刚石纳米压头实现大横截面积闪耀光栅结构加工，能够对槽形通过加工参数进行调节控制。