一种多层膜厚度及光学特性检测方法

摘要

本发明公开了一种多层膜厚度及光学特性检测方法,包括：S1，依序在衬底上沉积薄膜以形成多层膜，该多层膜的薄膜分类金刚石薄膜和金刚石薄膜；S2，测量多层膜的椭偏光谱；S3，判断薄膜是金刚石薄膜或类金刚石薄膜，如为金刚石薄膜则执行S41，如为类金刚石薄膜则执行S42；S41，采用Cauchy模型计算以获全波段的薄膜光学常数和薄膜厚度；S42，选择一段薄膜的透明区，采用Cauchy模型计算以获该波段范围的薄膜光学常数和厚度；S5，在类金刚石薄膜的吸收光谱区添加介电常数振子模型，根据椭偏光谱调整振子的幅度和宽度；S6，利用评价函数MSE评判实验值和拟合值之间的差距，以此确定多层膜的结构以及每一层薄膜的光学常数和薄膜厚度，光学常数包括折射率和消光系数。