单片集成级联量子阱宽调谐中红外激光器及制备方法

摘要

本公开提供了一种单片集成级联量子阱宽调谐中红外激光器，该激光器的量子阱级联区将具有不同发光波长量子阱级联串联，使该有源区的发光波长的增益谱线可以覆盖较大的波长范围，通过分布反馈式采样光栅对不同发光波长的光进行调谐，并利用光束耦合区的S形弯曲波导进行片上光耦合，最终通过一个平板波导实现单横模的激光输出。该激光器可实现整个单片集成激光器的中红外宽调谐输出，其输出模式为单横模单纵模激光输出，可调谐范围可覆盖中红外波长2‑4μm以上，具有体积小、重量轻、可调谐范围大且覆盖中红外波段的优势。本公开还提供开该激光器的制备方法，制备方法简单，成本低廉。