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硅溶胶在微电子领域的应用

摘要

本发明公开了一种硅溶胶在微电子领域的应用,而提供一种新型硅溶胶在微电子领域的应用。本发明的硅溶胶在微电子领域的应用,所述硅溶胶由湖北金伟新材料有限公司生产,所述硅溶胶中的原料为澳砂,所述硅溶胶在封闭式全自动条件下生产;在千级无尘条件下灌装及包装;采用0.2微米过滤系统过滤。本发明通过对湖北金伟新材料有限公司所生产的硅溶胶的改进,使其生产的硅溶胶的各方面性能满足微电子领域的使用需要,为国内硅溶胶广泛应用于微电子领域开辟了新途径。本发明精选原材料质量,所使用原材料为进口澳砂,从源头降低产品金属离子含量。

著录项

  • 公开/公告号CN112340739A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202011220164.7

  • 申请日2020-11-05

  • 分类号C01B33/14(20060101);B01D61/18(20060101);B01D61/20(20060101);B65B1/00(20060101);

  • 代理机构12107 天津市三利专利商标代理有限公司;

  • 代理人肖莉丽

  • 地址 300130 天津市红桥区光荣道29号河北工业大学南院微电子所

  • 入库时间 2023-06-19 09:52:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-11-18

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B33/14 专利申请号:2020112201647 申请公布日:20210209

    发明专利申请公布后的驳回

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