一种对称式半导体激光自混合光栅干涉三维位移测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种对称式半导体激光自混合光栅干涉三维位移测量系统及其测量方法，系统包括四通道稳定电流源、四个温度控制器、四个半导体激光器、四个光电探测器、反射式二维平面光栅、四个电光相位调制器、四通道信号发生器、电压放大器和信号处理模块；四个半导体激光器的输出激光分别经四个电光相位调制器调制后分别以x方向和y方向的±1阶利特罗入射角入射至反射式二维平面光栅上，衍射光沿入射方向原路反馈回相应的半导体激光器内发生自混合干涉，四路干涉信号经光电探测器转化为电信号，输出至信号处理模块，实时还原出待测目标的三维位移。本发明具有结构简单紧凑，抗干扰力强等特点，对称式结构设计有助于提高系统的测量分辨率。