应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法

摘要

本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，对工件毛坯待加工区的外边缘处微铣削加工制得沿X轴方向延伸的X向对刀槽、沿Y轴方向延伸的Y向对刀槽；微铣削加工过程中更换刀具后，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽或/和Y向对刀槽被微铣削加工去除后，基于对应处已加工表面的侧壁进行刀具X方向或/和Y方向的二次对刀。本发明提供了一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其能够保证慢波结构微铣削加工时相对位置的准确性，提高微铣削加工精度。