晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统

摘要

本发明公开了一种晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统，涉及一种半导体厂和光伏厂加工领域，包括管路系统，管路系统上按照液体的流动方向依次设置有废液槽、过滤器和清液槽，管路系统上设置有过滤泵和清液泵，管路系统上设置有过滤组件、预过滤组件、排液组件、滤布清洗组件、泄压组件、滤饼吹干组件和滤饼下料组件，还包括PLC控制组件，本发明中经过过滤器将废液形成固液分离，将得到的干净的液体回收到厂务做次级用水再利用，减少公司自来水用水量，降低废水排放量，同时降低废水处理费用，过滤回收得到的固体(硅粉)用做硅铁生产原料再利用，减少原来污泥做委外处理费用、节省污泥处理费。

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体厂和光伏厂加工领域，特别涉及一种晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统。

背景技术

半导体晶背研磨废液、光伏厂中的倒角开方研磨废液、切片砂浆废液，目前都是采用化学混凝，经过压滤机过滤、水外排、硅粉污泥当废弃物，因为污泥经过化学混凝，所以污泥无法当做硅铁原料使用，浪费资源、成本高。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可以将废液形成固液分离，使得干净的液体和固体(硅粉)均可以再次循环使用、节约资源、成本低的晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统，包括管路系统，所述管路系统上按照液体的流动方向依次设置有用于放置废液的废液槽、用于过滤废液的过滤器和用于储存过滤后的清液的清液槽，所述管路系统上位于废液槽和过滤器之间设置有过滤泵，所述管路系统上位于清液槽远离过滤器的一侧设置有清液泵，所述管路系统上设置有过滤组件、预过滤组件、排液组件、滤布清洗组件、泄压组件、滤饼吹干组件和滤饼下料组件，还包括用于控制晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统的PLC控制组件，所述过滤器、过滤泵、过滤组件、预过滤组件、排液组件、滤布清洗组件、泄压组件、滤饼吹干组件和滤饼下料组件分别与PLC控制组件电气连接，所述废液槽用于放置废液，所述过滤器用于过滤废液，所述清液槽用于储存过滤后的清液，所述过滤泵用于将废液从废液槽内抽入到过滤器内，所述清液泵用于将清液槽内的清液输出使得再次被利用，所述过滤组件用于过滤废液，使得被过滤后的干净液体和固体(硅粉)可以再次使用，节约能源，所述预过滤组件用于对废液进行预过滤，所述排液组件用于在过滤完成后将过滤器内剩余的废液排出，所述滤布清洗组件用于在废液过滤前对滤布进行清洗，所述泄压组件用于在过滤完成后对过滤器内部进行泄压，所述滤饼吹干组件用于在过滤后将过滤出的滤饼进行吹干，所述滤饼下料组件用于将滤饼进行下料，所述PLC控制组件用于控制晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统。

进一步的是：所述过滤组件包括设置在管路上的第一阀件、第三阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件和第九阀件，使得废液从废液槽内流出经过过滤泵、第一阀件、第三阀件、第四阀件、过滤器、第五阀件、第六阀件和第九阀件流入到清液槽内，所述第一阀件、第三阀件和第四阀件设置在过滤泵和过滤器之间，所述第一阀件设置在靠近过滤泵的一侧，所述第三阀件和第四阀件设置在靠近过滤器的一侧，且所述第三阀件和第四阀件并列设置，所述第四阀件与过滤器的底端连接，所述第五阀件和第六阀件均设置在过滤器的上部，且第五阀件和第六阀件并列设置，所述第九阀件设置在第五阀件或第六阀件与清液槽之间，所述第一阀件、第三阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件和第九阀件分别与PLC控制器电气连接。

进一步的是：所述预过滤组件包括第一阀件、第三阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件和第八阀件，使得废液从废液槽内流出经过过滤泵、第一阀件、第三阀件、第四阀件、过滤器、第五阀件、第六阀件和第八阀件流入到废液槽内，所述第八阀件设置在第五阀件或第六阀件与废液槽之间，所述第八阀件与PLC控制组件电气连接。

进一步的是：所述排液组件包括上部排液部件和底阀排液部件，所述上部排液部件和底阀排液部件分别与PLC控制组件电气连接，所述上部排液部件用于将过滤器上部多余的废液排出，所述底阀排液部件用于将过滤器底阀处多余的废液排出，所述上部排液部件包括第二阀件、第三阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十一阀件，所述第二阀件设置在管路系统上位于第三阀件或第四阀件与废液槽之间，使得废液从过滤器内流出经过第三阀件、第四阀件和第二阀件流入到废液槽内，所述第七阀件和第十一阀件串联，设置在过滤器的上端，所述第十一阀件通过气管与气源连接，所述第七阀件与过滤器的上端连接，使得气体经过第十一阀件和第七阀件吹入到过滤器内，便于废液排出，所述第七阀件和第十一阀件分别与PLC控制组件电气连接，所述底阀排液部件包括第二阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十一阀件，使得废液从过滤器内流出经过第四阀件和第二阀件流入到废液槽内。

进一步的是：所述滤布清洗组件包括第一滤布清洗部件和第二滤布清洗部件，所述第一滤布清洗部件包括第五阀件、第七阀件、第十阀件和第十三阀件，所述第十三阀件的一端通过管路系统与过滤器的上端连接，另一端通过气管与气源连接，所述第十三阀件与PLC控制组件电气连接，所述第二滤布清洗部件包括第六阀件、第七阀件、第十阀件和第十三阀件。

进一步的是：所述泄压组件包括滤管泄压部件和本体泄压部件，所述滤管泄压部件包括第五阀件、第六阀件和第八阀件，使得滤管内压力分别从过滤器内经过第五阀件和第八阀件排到废液槽内和从过滤器内经过第六阀件和第八阀件排到废液槽内，所述本体泄压部件包括第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十阀件，使得本体内压力分别从过滤器内经过第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十阀件排到废液槽内。

进一步的是：所述滤饼吹干组件包括滤饼吹干部件和残留液再排空部件，所述滤饼吹干部件包括第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十二阀件，利用气体经过第十二阀件和第七阀件吹入到过滤器内，使得滤饼中所含废液从过滤器内经过第五阀件和第八阀件流入到废液槽内、从过滤器内经过第六阀件和第八阀件流入到废液槽内，将滤饼吹干，所述残留液再排空部件包括第二阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件和第十二阀件，使得废液从过滤器内经过第四阀件和第二阀件流入到废液槽内、从过滤器内经过第五阀件和第八阀件流入到废液槽内、从过滤器内经过第六阀件和第八阀件流入到废液槽内，将底部残留液排空。

进一步的是：所述滤饼下料组件包括第一滤饼下料部件和第二滤饼下料部件，所述第一滤饼下料部件包括第五阀件、第七阀件、第十阀件、第十三阀件和第十四阀件，气体通过管路经过第十三阀件和第五阀件吹向滤芯管，使得滤饼脱落，经过第十四阀件掉落于真空袋中，所述第二滤饼下料部件包括第六阀件、第七阀件、第十阀件、第十三阀件和第十四阀件，气体通过管路经过第十三阀件和第六阀件吹向滤芯管，使得滤饼脱落，经过第十四阀件掉落于真空袋中，所述第十四阀打开时用于下料滤饼，所述第十三阀件用于控制气体的通断，从而对滤饼进行吹气，使得滤饼脱落。

本发明的有益效果是：本发明中不添加任何化学药剂混凝，直接利用过滤器将废液形成固液分离，将得到的干净的液体回收到厂务做次级用水再利用，减少公司自来水用水量，降低废水排放量，同时降低废水处理费用、加药量的节省减少加药费用，过滤回收得到的固体用做硅铁生产原料再利用，减少原来污泥做委外处理费用、节省污泥处理费。

附图说明

图1为晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统的结构示意图；

图中标记为：1、第一阀件；2、第二阀件；3、第三阀件；4、第四阀件；5、第五阀件；6、第六阀件；7、第七阀件；8、第八阀件；9、第九阀件；10、第十阀件；11、第十一阀件；12、第十二阀件；13、第十三阀件；14、第十四阀件；15、废液槽；16、过滤泵；17、过滤器；18、清液槽；19、清液泵。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明。

如图1所示的晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统，包括管路系统，所述管路系统上按照液体的流动方向依次设置有用于放置废液的废液槽15、用于过滤废液的过滤器17和用于储存过滤后的清液的清液槽18，所述管路系统上位于废液槽15和过滤器17之间设置有过滤泵16，所述管路系统上位于清液槽18远离过滤器17的一侧设置有清液泵。19，所述管路系统上设置有过滤组件、预过滤组件、排液组件、滤布清洗组件、泄压组件、滤饼吹干组件和滤饼下料组件，还包括用于控制晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统的PLC控制组件，所述过滤器17、过滤泵16、过滤组件、预过滤组件、排液组件、滤布清洗组件、泄压组件、滤饼吹干组件和滤饼下料组件分别与PLC控制组件电气连接，所述废液槽15用于放置废液，所述过滤器17用于过滤废液，所述清液槽18用于储存过滤后的清液，所述过滤泵16用于将废液从废液槽15内抽入到过滤器17内，所述清液泵。19用于将清液槽18内的清液输出使得再次被利用，所述过滤组件用于过滤废液，使得被过滤后的干净液体和固体(硅粉)可以再次使用，节约能源，所述预过滤组件用于对废液进行预过滤，所述排液组件用于在过滤完成后将过滤器17内剩余的废液排出，所述滤布清洗组件用于在废液过滤前对滤布进行清洗，所述泄压组件用于在过滤完成后对过滤器17内部进行泄压，所述滤饼吹干组件用于在过滤后将过滤出的滤饼进行吹干，所述滤饼下料组件用于将滤饼进行下料，所述PLC控制组件用于控制晶背研磨水、金刚线切片水和污泥回收再利用系统，所述第一阀件、第二阀件、第三阀件、第四阀件、第五阀件、第六阀件、第七阀件、第八阀件、第九阀件、第十阀件、第十一阀件、第十二阀件、第十三阀件、第十四阀件均为自动阀，所述各个阀件的开关动作是由PLC控制组件中预先设置的时间控制的。

在上述基础上，所述过滤组件包括设置在管路上的第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6和第九阀件9，使得废液从废液槽15内流出经过过滤泵16、第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、过滤器17、第五阀件5、第六阀件6和第九阀件9流入到清液槽18内，所述第一阀件1、第三阀件3和第四阀件4设置在过滤泵16和过滤器17之间，所述第一阀件1设置在靠近过滤泵16的一侧，所述第三阀件3和第四阀件4设置在靠近过滤器17的一侧，且所述第三阀件3和第四阀件4并列设置，所述第四阀件4与过滤器17的底端连接，所述第五阀件5和第六阀件6均设置在过滤器17的上部，且第五阀件5和第六阀件6并列设置，所述第九阀件9设置在第五阀件5或第六阀件6与清液槽18之间，所述第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6和第九阀件9分别与PLC控制器电气连接。

在上述基础上，所述预过滤组件包括第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6和第八阀件8，使得废液从废液槽15内流出经过过滤泵16、第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、过滤器17、第五阀件5、第六阀件6和第八阀件8流入到废液槽15内，所述第八阀件8设置在第五阀件5或第六阀件6与废液槽15之间，所述第八阀件8与PLC控制组件电气连接。

在上述基础上，所述排液组件包括上部排液部件和底阀排液部件，所述上部排液部件和底阀排液部件分别与PLC控制组件电气连接，所述上部排液部件用于将过滤器17上部多余的废液排出，所述底阀排液部件用于将过滤器17底阀处多余的废液排出，所述上部排液部件包括第二阀件2、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十一阀件11，所述第二阀件2设置在管路系统上位于第三阀件3或第四阀件4与废液槽15之间，且与第三阀件3和第四阀件4并列设置，使得废液从过滤器17内流出经过第三阀件3、第四阀件4和第二阀件2流入到废液槽15内，所述第七阀件7和第十一阀件11串联，设置在过滤器17的上端，所述第十一阀件11通过气管与气源连接，所述第七阀件7与过滤器17的上端连接，使得气体经过第十一阀件11和第七阀件7吹入到过滤器17内，便于废液排出，所述第七阀件7和第十一阀件11分别与PLC控制组件电气连接，所述底阀排液部件包括第二阀件2、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十一阀件11，使得废液从过滤器17内流出经过第四阀件4和第二阀件2流入到废液槽15内。

在上述基础上，所述滤布清洗组件包括第一滤布清洗部件和第二滤布清洗部件，所述第一滤布清洗部件包括第五阀件5、第七阀件7、第十阀件10和第十三阀件13，所述第十三阀件13的一端通过管路系统与过滤器17的上端连接，另一端通过气管与气源连接，所述第十三阀件13与PLC控制组件电气连接，所述第二滤布清洗部件包括第六阀件6、第七阀件7、第十阀件10和第十三阀件13。

在上述基础上，所述泄压组件包括滤管泄压部件和本体泄压部件，所述滤管泄压部件包括第五阀件5、第六阀件6和第八阀件8，使得滤管内压力分别从过滤器17内经过第五阀件5和第八阀件8排到废液槽15内和从过滤器17内经过第六阀件6和第八阀件8排到废液槽15内，所述本体泄压部件包括第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十阀件10，使得本体内压力分别从过滤器17内经过第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十阀件10排到废液槽15内。

1、在上述基础上，所述滤饼吹干组件包括滤饼吹干部件和残留液再排空部件，所述滤饼吹干部件包括第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十二阀件10，利用气体经过第十二阀件12和第七阀件7吹入到过滤器17内，使得滤饼中所含废液从过滤器17内经过第五阀件5和第八阀件8流入到废液槽15内、从过滤器17内经过第六阀件6和第八阀件8流入到废液槽15内，将滤饼吹干。所述残留液再排空部件包括第二阀件2、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十二阀件12，使得废液从过滤器17内经过第四阀件4和第二阀件2流入到废液槽15内、从过滤器17内经过第五阀件5和第八阀件8流入到废液槽15内、从过滤器17内经过第六阀件6和第八阀件8流入到废液槽15内，将底部残留液排空。

在上述基础上，所述滤饼下料组件包括第一滤饼下料部件和第二滤饼下料部件，所述第一滤饼下料部件包括第五阀件5、第七阀件7、第十阀件10、第十三阀件13和第十四阀件14，气体通过管路经过第十三阀件13和第五阀件5吹向滤芯管，使得滤饼脱落，经过第十四阀件14掉落于真空袋中。所述第二滤饼下料部件包括第六阀件6、第七阀件7、第十阀件10、第十三阀件13和第十四阀件14，气体通过管路经过第十三阀件13和第六阀件6吹向滤芯管，使得滤饼脱落，经过第十四阀件14掉落于真空袋中，所述第十四阀打14开时用于下料滤饼，所述第十三阀件13用于控制气体的通断，从而对滤饼进行吹气，使得滤饼脱落。

在上述基础上，首先开启过滤器17；

打开第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十阀件10，开启过滤泵16，将过滤器17充满，然后关闭第七阀件7和第十阀件10；

打开第五阀件5、第七阀件7、第十阀件10和第十三阀件13，释放压力，然后关闭第五阀件5，打开第六阀件6、第七阀件7、第十阀件10和第十三阀件13，释放压力，然后关闭第六阀件6；

打开第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十阀件10，开启过滤泵16，再次充满过滤器17；

开启第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6和第八阀件8，进行预过滤；

开启第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6和第九阀件9，进行过滤，使得过滤后干净的清液流入到清液槽18内；

开启第一阀件1、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8、第九阀件9和第十一阀件11，开启过滤泵16，一段时间后，开启第二阀件2，关闭第九阀件9，一段时间后关闭过滤泵16；开启第二阀件2、第三阀件3、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十一阀件11，进行上部排液；开启第二阀件2、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十一阀件11，进行底阀排液；

开启第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十二阀件12，将滤饼吹干；开启第二阀件2、第四阀件4、第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十二阀件12对残留液进行再排空；

开启第五阀件5、第六阀件6和第八阀件8进行滤管泄压；开启第五阀件5、第六阀件6、第七阀件7、第八阀件8和第十阀件10进行本体泄压；

开启第七阀件7、第十阀件10、第十三阀件13、第十四阀件14，进行下料准备；开启第五阀件5、第七阀件7、第十阀件10、第十三阀件13和第十四阀件14，进行第一过滤管件下料，关闭第五阀件5进行压力释放；开启第六阀件6、第七阀件7、第十阀件10、第十三阀件13和第十四阀件14，进行第二过滤管件下料，关闭第六阀件6，进行压力释放，关闭第十四阀件14；

如此反复工作。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。