一种基于肖特基接触光栅化结构的太赫兹探测器

摘要

本发明公开了一种基于肖特基接触光栅化结构的太赫兹探测器，通过调节肖特基接触的光栅化结构参数(光栅的宽度、长度、区域面积、周期和图案形式)来实现THz响应频点的调节(探测器设计阶段可根据实际需求的探测频点(单个频点或者多个频点都可以)来调整光栅化结构参数)，从而实现单频探测或者实现一个探测器支持多个频点探测；通过将光栅化引入到肖特基二极管中，使得光栅化的肖特基接触与太赫兹波产生共振，增强等离子体谐振效应，进一步提高探测灵敏度。