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利用双层材料制备有序自组织纳米结构的方法

摘要

一种利用双层材料制备有序自组织纳米结构的方法,该方法包括以下步骤:在第一膜层上形成第二膜层,所述第一膜层和第二膜层为不互溶的双层材料;离子束轰击所述第二膜层至深度到达所述第一膜层内,诱导所述第一膜层形成有序自组织纳米结构。本发明基于双层材料形成的自组织纳米结构之间的差异和引导作用,通过利用离子轰击自调控的自组织纳米结构的制备方法,快速地提高自组织纳米结构有序性、长程性,具有工艺简单、成本低、易于实现的优势。

著录项

  • 公开/公告号CN112158798A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学技术大学;

    申请/专利号CN202010991748.8

  • 发明设计人 刘颖;李金昱;杨高元;洪义麟;

    申请日2020-09-18

  • 分类号B82B3/00(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人吴梦圆

  • 地址 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

  • 入库时间 2023-06-19 09:24:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-17

    授权

    发明专利权授予

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