公开/公告号CN112157069A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司惠州供电局;
申请/专利号CN202010947220.0
申请日2020-09-10
分类号B08B5/02(20060101);B08B3/02(20060101);B08B3/08(20060101);B08B13/00(20060101);B08B15/04(20060101);F26B21/00(20060101);F26B21/06(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 510000 广东省广州市越秀区东风东路757号
入库时间 2023-06-19 09:23:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-14
授权
发明专利权授予
机译: 罐清洗装置,罐清洁装置,罐清洁装置控制方法的控制装置,以及罐清洗装置的控制程序
机译: 基板清洗装置,基板清洗方法以及基板清洗装置的控制方法
机译: 基板清洗装置,基板清洗方法以及基板清洗装置的控制方法