用于利用电子显微镜从生命科学样本的连续超薄切片记录纳米分辨率3D图像数据的方法

摘要

用于利用电子显微镜从生命科学样本的连续超薄切片记录纳米分辨率3D图像数据的方法。使位于衬底上的试样切片的试样图像对准的方法包含获得所述衬底的光学或SEM图像，以及定位和对准每一试样切片的光学或SEM图像。接着利用SEM使所述试样切片成像以获得预览图像，且选择所述预览图像中的至少一个中的关注区（ROI）。处理所述预览图像使得至少所述预览图像的接近所述ROI的部分对准。基于所述预览图像的所述对准，获得选定试样切片的最终SEM图像，使得在三维中对准的一组图像可用。图像对准可使用与固定或可变参考的交叉相关，所述固定或可变参考可随着试样切片图像被处理而更新。