公开/公告号CN112098365A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 南京科远智慧科技集团股份有限公司;
申请/专利号CN202011127103.6
申请日2020-10-20
分类号G01N21/39(20060101);
代理机构32238 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙);
代理人陈扬
地址 211100 江苏省南京市江宁区秣陵街道清水亭东路1266号
入库时间 2023-06-19 09:15:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-20
授权
发明专利权授予
机译: 气吸收光谱测量装置,频率锁定方法和气体吸收光谱测量方法
机译: 气体例如氩气,一种用于硅晶片加工/转移设备的真空室的泄漏检测方法,涉及产生气体等离子体并检测在等离子体发射的辐射光谱中测试气体的光谱线的存在
机译: 基于波形拟合方法的波形拟合方法和线宽测量方法