一种基于机器学习打磨超薄掩膜版的智能化激光抛光模块

摘要

本发明涉及一种基于机器学习打磨超薄掩膜版的智能化激光抛光模块，属于先进激光制造领域，主要包括：激光抛光图像数据采集及分类模块；激光抛光平整度、表面粗糙度、缺陷识别模块；抛光区域精准识别与划分模块；掩膜版激光抛光在线精准连续性拼接模块。与现有激光抛光设备相比，本发明取得的技术突破在于可以在激光抛光的同时，将掩膜版表面粗糙度、表面平坦度、抛光区域、抛光效率、抛光误差等特征进行学习评估形成最优模型，用机器学习高级架构作为抛光缺陷的实时监测方法，智能识别上述特征，并精细划分抛光区域，实时调整影响激光抛光的各种因素，最终实现在线连续拼接大面积超薄掩膜版激光抛光技术的技术应用。