带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法

摘要

本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。