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芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质

摘要

本申请涉及一种芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质。其中,该方法包括:控制测量头对准承载于载物台上的电路板上的参考位置;以参考位置为位置基准,按照预设测量路径控制测量头与载物台的相对位置,并获取电路板上目标位置区域的图像,其中,目标位置区域至少设置有一个待测芯片;根据目标位置区域的图像,确定待测芯片的空间取向信息。通过本申请,解决了相关技术中在测量芯片的空间取向时需要逐个手动选点测量导致的效率低下的问题,提高了测量芯片的空间取向的效率。

著录项

  • 公开/公告号CN112082480A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江清华柔性电子技术研究院;

    申请/专利号CN202010935215.8

  • 发明设计人 房亮;朱海斌;何志峰;程北;

    申请日2020-09-08

  • 分类号G01B11/00(20060101);

  • 代理机构33250 杭州华进联浙知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙伟

  • 地址 314006 浙江省嘉兴市南湖区浙江清华长三角研究院B座15层

  • 入库时间 2023-06-19 09:12:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 专利申请号:2020109352158 申请日:20200908

    实质审查的生效

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