用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件

摘要

本发明涉及气体分级控制技术领域，尤其是一种用于狭窄空间的节流分气片及其节流分气片组件，该节流分气片由内至外至少弯折有两个平台部，相邻两个平台部之间形成连接部，且相邻两个平台部中位于外侧的平台部围绕着位于内侧的平台部；本发明通过将节流分气片多次弯折后形成多个平台部，以此利用平台部分别和腔室的两个侧壁接触，便可将及其狭窄的腔室分隔为多个独立的隔腔，且结构简单，成本低，各隔腔之间通过节流口相互连通，并可通过在不同的位置设置不同形状或不同大小的节流口实现对各隔腔内气体的流速和压力进行控制，并能够将各隔腔内的气体分别导出，使应用场合得到大幅度的增加，提高市场竞争力。