应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器及制造方法

摘要

本发明公开了应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，包括：硅基衬底；沉积在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TE直通段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TM耦合段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上，并包覆所述TE直通段芯层和所述TM耦合段芯层的二氧化硅包层。整体结构尺寸小且紧凑、耦合效率高、消光比高、插入损耗低且带宽大。本发明还公开了倾斜光栅式偏振分束器的制造方法。