产生具有玻璃盖的MEMS装置和MEMS装置

摘要

在此描述产生具有玻璃盖的MEMS装置和MEMS装置。在一种产生微机电系统MEMS装置的方法中，提供包括可移动元件的MEMS衬底。通过热压印形成包括玻璃盖的玻璃盖构件。玻璃盖构件接合到MEMS衬底，以便通过玻璃盖气密地密封空腔，可移动元件布置在空腔中。