用于测试诸如收集器反射镜的反射镜的系统及测试诸如收集器反射镜的反射镜的方法

摘要

公开一种被配置成测试收集器反射镜的系统，所述收集器反射镜具有第一焦点和第二焦点，所述系统包括：测试辐射子系统，所述测试辐射子系统能够操作以将测试辐射从所述第二焦点投影至所述收集器反射镜上；传感器子系统，所述传感器子系统能够操作以接收从所述收集器反射镜朝向所述第一焦点反射的测试辐射；和辐射限制器子系统，所述辐射限制器子系统能够操作以将由所述传感器接收的所述测试辐射限制至从所述收集器反射镜的受限部分反射的测试辐射；控制子系统，所述控制子系统能够操作以控制所述辐射限制器子系统沿一系列不同位置的移动，由此将由所述传感器接收的所述测试辐射限制至从所述收集器反射镜的对应的一系列不同受限部分反射的测试辐射。