公开/公告号CN111965387A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 宁波中车时代传感技术有限公司;
申请/专利号CN202011138746.0
申请日2020-10-22
分类号G01P15/08(20060101);G01P21/00(20060101);H05K5/06(20060101);H05K3/34(20060101);
代理机构33243 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人王玲华
地址 315021 浙江省宁波市江北区振甬路138号
入库时间 2023-06-19 08:59:45
机译: 使用两个单晶半导体制造半导体传感器,尤其是压力或加速度传感器,以降低生产成本并提高可靠性
机译: 一种低成本高可靠性应用的高可靠性中介层的形成方法
机译: 一种半导体加速度传感器的制备方法