一种基于模态驱动方法的调平装置及其调平方法

摘要

本发明设计了一种基于模态驱动方法的调平装置，主要包括驱动模块、调平模块、支撑结构。驱动模块主要由蜂窝形压电驱动器103和压电陶瓷403组成。调平模块主要由超声电机202、调平杆301、导杆203和无线倾角传感器105组成；支撑结构104用做对蜂窝形压电驱动器及超声电机进行固定。本发明所设计的调平装置使用压电驱动器驱动，驱动原理采用压电陶瓷的逆压电效应；调平装置的精度高达纳米级，具有工作状态噪音小、基本无误差的优点，适用于微纳米芯片的装配平台。