用于处理腔室的纳米颗粒测量

摘要

在一实施方式中，一种使用单颗粒感应耦合等离子体质谱分析术(spICPMS)来量测来自样本的纳米颗粒的方法包括通过以下步骤从样本表面分离纳米颗粒：将表面暴露于第一液体介质的第一暴露表面；及机械操纵第一液体介质；及使用spICPMS量测第一液体介质。在一实施方式中，一种检测处理腔室中的纳米颗粒污染物的方法包括在处理操作之后从处理腔室移除第一部件；及使用spICPMS量测来自第一部件的第一纳米颗粒，包含通过以下步骤来从第一部件的第一表面分离第一纳米颗粒：将第一表面的第一部分暴露于第一液体介质的第一暴露表面，及机械操纵该第一液体介质。