双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法

摘要

本发明公开了一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法。本发明先分别调整系统两个共焦探头与被测平板表面的平行度；其次粗调系统两个共焦探头光轴对齐，使得两个共焦探头光轴平行且相交于被测平板中心点；最后精调系统两个共焦探头光轴对齐，使得其平行且相交于被测平板中心点；本发明利用两个五轴位移平台承载共焦探头置于被测平板两侧，通过调整对应的轴体旋钮，利用光能量法定量精确调整系统平行度、对齐共焦探头光轴。只有在进行了平行度校准与光轴对齐之后，系统才能精确进行参数标定与厚度检测，并且有效减小了后续平板厚度测量的误差，提高系统测量精度。