一种周期性的折射率分层渐变的纳米结构LED的制备方法

摘要

本发明公开了一种周期性的折射率分层渐变的纳米结构LED的制备方法。该新型纳米结构LED的制备方法是：先在LED的出光面透明电极层制备单层密排的纳米球阵列；接着利用刻蚀的方法使得纳米球尺寸变小；接着利用倾斜的方法沉积ITO透明材料；最后高温加热，在LED的透明电极表面形成周期的纳米结构。结果表明，本发明的制备方法能有效的制作周期性的折射率分层渐变的纳米结构LED，可以提高纳米结构LED的出光效率。