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Nanostructured layer for graded index freeform optics

机译:渐变折射率光学器件的纳米结构层

摘要

The present disclosure relates to a method for creating an optical component having a spatially controlled refractive index. The method may involve applying a thin metal material layer to a substrate. The thin metal material layer may then be heated to create a mask having a spatially varying nano-particle distribution. The substrate may then be etched, using the mask, to imprint a spatially patterned nanostructure pattern on a surface the substrate.
机译:本发明涉及一种用于制造具有空间受控的折射率的光学部件的方法。该方法可以包括将薄金属材料层施加到衬底上。然后可以加热薄金属材料层以产生具有在空间上变化的纳米粒子分布的掩模。然后可以使用掩模蚀刻基板,以在基板的表面上压印空间图案化的纳米结构图案。

著录项

  • 公开/公告号US10612145B2

    专利类型

  • 公开/公告日2020-04-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY LLC;

    申请/专利号US201715625258

  • 发明设计人 EYAL FEIGENBAUM;

    申请日2017-06-16

  • 分类号B41J2/16;C23F1;C23F1/44;G02B1;G02B3;H01L21/263;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/768;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:27:00

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