一种渐变折射率纳米结构结合纳米透镜的LED结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米结构结合微透镜的LED芯片结构及其制备方法，以提高LED芯片的出光效率。在已经制备好的透明扩散电流电极的LED芯片上，先制备具有渐变折射率的纳米结构，然后再制备表面微透镜阵列结构。本发明的设计原理简单，制备方法巧妙，利用渐变折射率介质减少菲涅尔反射，同时利用表面的微透镜阵列增大LED的逃逸光锥和表面散射，从而进一步提高平面结构LED的出光效率。