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间距可调的贵金属纳米粒子一维组装体及其在纳米传感器中的应用

摘要

本发明公开了一种间距可调的贵金属纳米粒子一维组装体及其在纳米传感器中的应用,该纳米粒子一维组装体的制备方法包括以下步骤:1)制作纳米粒子单层膜;2)采用电子束光刻结合RIE刻蚀的方法在所述单层膜上制作需要的刻蚀图形,通过RIE刻蚀的方法对所述单层膜中的纳米粒子进行原位刻蚀以调整纳米粒子的间距。本发明提供的方法通过在贵金属纳米粒子自组装单层膜表面进行纳米图形化可形成任意形态的一维组装结构,且可精确控制纳米粒子的间距,从而可以精确控制纳米粒子一维组装体的光学特性:可对周围介电环境变化而产生相应光学响应,利用这一光学特性可将其应用于纳米光学传感器、纳米生物传感或纳米气体传感。

著录项

  • 公开/公告号CN111929277A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202010496603.0

  • 申请日2020-06-03

  • 分类号G01N21/41(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);B82Y15/00(20110101);

  • 代理机构11369 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人孔凡玲

  • 地址 215163 江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号

  • 入库时间 2023-06-19 08:52:00

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